
NANO编辑优选:厦门大学研究团队揭示绿色Micro-LED中光提取效率与侧壁钝化效应的竞争机制
本篇研究来自厦门大学吴挺竹教授课题组。该研究采用原子层沉积(ALD)技术制备了不同厚度Al2O3钝化层的绿光Micro-LED,并系统地研究了钝化层对器件光电性能的影响机理,揭示了光提取效率与侧壁钝化效应之间的竞争机制,研究结果为提高绿光Micro-LED的发光效率和可靠性提供了参考。 文章介绍 Competitive mechanism between light extraction efficiency and sidewall passivated effect in the green micro-LEDs with varied thickness of Al2O3 layerYoucai Deng(邓有财), Denghai Li(李登海), Yurong Dai, Zongmin Lin, Youqin Lin, Zongyuan Liu, Xinxing Chen, Hao-Chung Kuo, Zhong Chen, Shouqiang Lai(赖寿强) and Tingzhu Wu(吴挺竹) 通讯作者: 赖寿强,厦门大学电子科学与技术学院 吴挺竹,厦门大学电子科学与技术学院 研究背景: 基于氮化镓的绿光微型发光二极管(Micro-LED)因其体积小、功耗低、亮度高以及在全彩显示和可见光通信中的广泛应用而备受重视。然而,随着芯片尺寸的微缩,侧壁缺陷对Micro-LED性能的影响将变得更加显著,非辐射复合占比的增加将严重影响Micro-LED的光输出功率和外量子效率。为了解决这一问题,研究人员提出了多种侧壁处理和缺陷修复技术,其中原子层沉积(ALD)技术因其能够精确控制薄膜厚度、均匀性和保形性而成为小尺寸Micro-LED侧壁钝化的有效手段。然而,随着钝化层厚度的增加,钝化效果与光提取效率之间存在着一定的竞争关系,为此,本研究在绿光Micro-LEDs上沉积了不同厚度的Al2O3钝化层,对比研究了这些器件的性能,并揭示钝化效应与光提取效率之间的竞争机制。 研究内容: 研究采用通过CBATCH Batch ALD(Xiamen...