NANO编辑优选：过渡金属硫属化合物及其异质结的晶圆级制备
文章介绍
Shiwei Zhang（张世伟）, Yulong Hao（郝玉龙）, Shijie Hao, Xuemei Lu, Jie Zhou, Chen Fan, Jun Liu（刘军）, and Guolin Hao（郝国林）
通讯作者：
- 郝国林，湘潭大学物理与光电工程学院
- 刘军，广西师范大学物理科学与技术学院
研究背景：
二维（2D）半导体材料作为一类很有前途的新兴材料，凭借其独特而优异的物理和化学特性，有望克服硅基器件小型化的技术瓶颈，进一步延续“摩尔定律”。其中，过渡金属硫属化合物（TMD）及其异质结在新型电子、光电子器件中展现出前所未有的应用潜力，其相关的晶圆级制备技术和生长策略正不断取得突破。因此，有必要系统和全面地总结晶圆级TMD及其异质结合成的最新进展。本研究旨在为晶圆级2D材料的未来发展途径提供理论与技术支持，并促进其在电子、光电子和其他领域的广泛应用。
研究内容：
本综述系统分析了化学气相沉积（CVD）、金属有机化学气相沉积、分子束外延、原子层沉积和激光脉冲沉积五大晶圆级制备技术的工业化潜力。通过对比生长温度、真空度、最大晶圆尺寸等关键工艺参数，揭示了CVD技术在高扩展性、低成本及批量化制备方面的显著优势，使其成为当前晶圆级薄膜制备的主流技术。
作者介绍
郝国林 教授
湘潭大学
- 郝国林，教授，博士生导师，湖南省优秀青年基金获得者，湖南省青年骨干教师，湘潭大学韶峰学者，加州大学洛杉矶分校博士后，湖南省光学学会理事，湖南省光学学会青年工作委员会委员。近年来主要从事二维原子晶体的可控制备及光电性质研究，在原子力显微镜技术、二维原子晶体的可控制备与物性调控、微纳光电器件构筑等方面积累了一定的研究经验。主持与已完成国家自然科学基金面上项目、青年项目，湖南省重点研发项目，湖南省自然科学基金优秀青年项目等国家级与省部级项目10余项，在Science, Nano Letters, ACS nano, Science Bulletin, Advanced Functional Materials, The Journal of Physical Chemistry Letters, 2D Materials等国际期刊发表SCI论文50余篇，应Springer出版社邀请撰写英文专著的一个章节。其中3篇论文入选ESI高被引论文（含一篇热点论文），4篇论文被选为期刊封面，1篇论文获得2022年IOP出版社高被引论文奖，相关研究成果得到了国内外同行的广泛关注和认可，论文被引用3800余次。以第一发明人申请国家发明专利15项，其中授权8项。
刘军 教授
广西师范大学
- 刘军，博士，教授，硕士研究生导师。在中山大学光电材料与技术国家重点实验室获得博士学位，感兴趣的研究领域主要是低维半导体材料可控生长、光学传感器件、固体发光材料与器件等。主持和参与国家自然科学基金共5项，主持和参与省部级科研项目6项，主持省部共建国家重点实验室开放基金1项，主持广西高等教育本科教学改革工程项目（重点项目）1项、校级教学教育改革项目1项，获广西教育厅高校优秀教师深造项目1项。近年来在Applied Physics Letters, Applied Surface Science, Results in Physics等权威SCI期刊上发表学术论文40余篇，授权国家发明、实用新型等专利4项。
期刊介绍
- 2024年影响因子：2.8 Citescore：6.2
- Nanotechnology（NANO）创刊于1990年，是第一本纳米科研和技术领域的专业期刊。NANO发表纳米技术研究发展前沿的高水平研究论文及纳米研究进展的综述，主要集中在纳米能源、生物和医学、电子和光子、图案和纳米加工、传感和驱动、材料合成和材料性能等领域。